炭化シリコンの製造プロセス

to SIC製品を準備する最初のステップは、SICの製錬ブロック（SIC粒子材料とも呼ばれます。これは、かつてはCが含まれていて超ハードであるため、ダイヤモンド砂と呼ばれていました。ただし、それらの組成は自然とは異なることに注意する必要があります。ダイヤモンドサンド（ガーネット）。工業生産では、SICの製錬ブロックは通常、石英、石油コークス、およびその他の原材料から作られており、材料や廃棄物の回収を支援します。粉砕やその他のプロセスの後、炉材料に混合されます。合理的な比率と適切な粒子サイズ（炉材料の透過性を調整するには、適切な量の木材チップを追加する必要があり、適切な量のテーブル塩を追加する必要があります。高温で調製されています。高温でSIC製錬ブロックを準備するための熱プロセスは、機器は特殊な炭化物の電気炉であり、炉の底、内面に埋め込まれた電極、取り外し可能な側壁を備えた端壁で構成されています。炉のコアボディ（フルネーム：電気炉の中心にある電気的に加熱されたボディは、通常、炉材料の中心にあるグラファイト粉末または石油コークスを備えた特定の形状とサイズに設置されています。通常は円形または長方形です。その2つの端は電極に接続されています）。この電気炉で使用される発火法は、一般に埋もれた粉末発火として知られています。エネルギーを与えられると、加熱が始まり、炉のコアボディの温度は約2500℃、さらにはさらに高く（2600-2700℃）、炉材料が1450℃に達すると、SIC合成が始まります（しかし、sicは主に≥で形成されます。 1800℃）およびCoがリリースされます。ただし、温度が≥2600℃の場合、SICは分解され、分解されたSiは炉電荷でCと反応してSICを形成します。電気炉の各グループには変圧器のセットが装備されていますが、生産中に、一定の電力を維持するために電気荷重の特性に応じて電圧を調整するために単一の電気炉のみが駆動されます。高出力電気炉は約24時間加熱する必要があり、停電後、SICの生成の反応は基本的に完了します。冷却の期間後、側壁を取り外し、炉材料を徐々に除去できます。 [10]

after high-temperature Calcination、外側から内側までの炉材料は次のとおりです。未反応の材料（炉の断熱材として機能する）、オキシカーバイドシリコン（主にCとSIOで構成される半反応性材料）、バインダー層（これは、主にC、SiO2、40％〜60％SIC、およびFe、Al、Ca、Mgの炭酸塩で構成された、しっかりと結合した材料層です）、アモルファス層（主に70％〜90％SICで構成されています。および立方体sic）β-sic、残りはC、Sio2、およびFe、A1、Ca、およびMgの炭酸塩であり、2年生のSIC層（主に90％から95％SICで構成されており、六角形のSICを形成しました。 、しかし、結晶は小さく脆弱であり、研磨剤として使用することはできません）、1年生のsic（<96%, which is a coarse crystal of hexagonal SiC, i.e. α - SiC), and the furnace core graphite. In the above layers of materials, unreacted materials and a portion of the silicon carbide layer material are usually collected as waste materials. Another part of the silicon carbide layer material is collected together with amorphous materials, secondary products, and some bonding materials as return furnace materials. Some bonding materials that are tightly bonded, large in size, and have many impurities are discarded. The first grade product, on the other hand, undergoes grading, coarse crushing, fine crushing, chemical treatment, drying and screening, and magnetic separation to become black or green SiC particles of various particle sizes. To produce silicon carbide micro powder, it needs to go through a water selection process; To make silicon carbide products, it is necessary to go through the process of forming and sintering.